中芯國際斥資12億美元購買ASML DUV光刻機
發(fā)布時間2022-03-02 15:59:46
此次的購買單為阿斯麥集團向中芯國際供應(yīng)用于生產(chǎn)晶圓的機器，購買單的總價為12.02億美元。中芯國際未公布訂單包含的產(chǎn)品或機器型號，但據(jù)外媒報道，阿斯麥集團表示與中芯國際的批量采購交易涉及一項中低端芯片制造技術(shù)，即深紫外線光刻技術(shù)（DUV）。阿斯麥?zhǔn)侨蜃畲蟮陌雽?dǎo)體光刻設(shè)備供應(yīng)商，實現(xiàn)7nm以下先進半導(dǎo)體制程的關(guān)鍵設(shè)備——極端紫外線光刻機（EUV）就由該公司生產(chǎn)，并且是全球唯一能夠量產(chǎn)EUV的廠商。阿斯麥3月4日澄清稱，同中芯國際的協(xié)議已于2018年1月1日簽訂，最初將一直持續(xù)到2020年12月31日，并于2021年2月1日延長至2021年12月底
據(jù)外媒透露，19年受制于美國政府的施壓，荷蘭一直未批準(zhǔn)向中國銷售EUV設(shè)備的許可證，20年12月，美政府將中芯國際列入實體制裁清單，要求美國半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)向中芯國際出口產(chǎn)品前，必須獲得許可才行，21年3月外媒透露，中芯國際經(jīng)過談判已獲得部分美國設(shè)備廠商供應(yīng)許可。
